<사진: 협약이 체결된 후 김상열 (주 )엘립소테크놀러지 대표이사와 이중원 KANC 대표이사>


화합물반도체 중심 비실리콘계 나노소자 분야의 국가연구개발지원기관인 나노소자특화팹센터(대표이사 이중원, http://www.kanc.re.kr )는 나노 박막 두께 측정 및 분석 유망 전문기업인 (주 )엘립소테크놀러지(대표이사 김상열, http://www.ellipsotech.com )과 나노소자특화팹시설구축사업 참여를 위한 협약을 체결했다고 8월 18일(목 ) 수원 나노소자특화팹센터에서 발표했다.
나노소자특화팹센터 이중원 대표이사와 엘립소테크놀러지 김상열 대표이사는 화합물반도체 나노소자의 박막 측정 및 분석과 박막관련 계측장비 개발 등을 위한 기관간 협력방안을 논의하고 나노소자특화팹센터 연구시설의 공동이용에 관한 의견을 교환하였다.
이번에 체결된 약정은 엘립소테크놀로지가 나노소자특화팹시설구축사업에 약 7천만원 상당의 엘립소미터 측정장비를 출연하고 나노소자특화팹센터가 보유한 청정실, 공정·특성평가 장비 및 시설 등의 이용을 통해 상호 유기적인 협력개발체제를 구축하는 등 구체적인 내용을 포함하고 있다.
또한 나노기술 분야에서 양 기관간 공동으로 반도체 관련 학술 및 기술정보의 원활한 교류를 통하여 나노기술 관련 공동기술 개발과제 발굴 및 상호발전을 위한 긴밀한 협력체제를 확립해 나가기로 하였다.
이번 약정체결을 통해 나노소자특화팹센터는 엘립소테크놀러지의 나노박막 측정 및 연구기술 개발의 노하우를 이용하여 부품설계 및 측정/분석기술에 관한 정보 및 연구의 공동협력으로 센터의 전문적인 나노기술 기초연구 지원을 위한 서비스를 제공할 수 있게 됐다.

(주 ) 엘립소 테크놀러지는 2000년 7월 10일에 창업한 회사로서 창업과 동시에 경기중소기업종합지원센터(KSBC ) 보육업체로 지정 받았으며, 특히 광학 및 박막 분야에서 20여년 연구한 아주대학교 김상열 교수와 전문 연구인력이 중심이 되어 첨단 박막 정밀광 계측기 및 박막 분석 시스템을 개발, 제작, 판매하고 있다. 현재 타원법(Ellipsometery )을 이용한 박막의 실시간 측정 및 2차원 스캐닝이 가능한 단파장 타원계와 다층 박막의 분석이 가능한 연구 및 양산용 분광타원계(SE )가 개발되어 삼성전자 및 LG전자 등 국내 유수의 기업들과 전국 각 대학 그리고 국·공립 연구소 등에 판매되고 있다. (주 ) 엘립소 테크놀러지는 국내 및 세계에 출원한 특허 총 13건을 바탕으로, 더욱 더 얇아지고 복잡해지고 있는 박막의 분석을 위해 요구되는 첨단 계측기의 개발과 분석 시스템을 개발, 보급해 나갈 계획이다.

재단법인 나노소자특화팹센터(KANC, Korea Advanced Nano Fab Center, 대표이사 이중원, www.kanc.re.kr )는 2003년에 설립되어 과학기술부가 시행하는 국가핵심연구기반구축사업의 일환으로 나노소자 기술분야에서 원천기술의 연구개발 및 조기산업화를 지원할 수 있는 장비와 시설의 구축을 추진중에 있으며 국내 산업계·학계·연구계의 공동 활용이 가능한 화합물반도체 중심 비실리콘계 나노소자특화팹센터를 구축하여 이용자 중심으로 최상의 서비스를 제공하는 세계수준의 국가핵심 인프라로 발전시켜 나갈 계획이다.