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기술소개

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기술소개 소자기술

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광소자 적색 마이크로 LED 소자 제조기술 ㆍ 마이크로 LED는 기존의 LED 보다 저전력, 경량, 고효율이 가능하며, 디스플레이에 적용 시 슬림화, Flexible이 가능하기 때문에 소형화된 광원의 필요성이 대두됨.
ㆍ 본 개발된 적색 마이크로 LED의 전사를 통해 최종적으로 Flexible LED 구현을 위한 추가적인 연구개발을 수행 중임.
전자소자 AlGaN/GaN 기반 고전자이동도트랜지스터(HEMT) 소자 제조 기술 ㆍ AlGaN/GaN HEMT 는 wide bandgap 인 AlGaN, GaN 층을 이종 접합하여 그 사이에 자연적으로 발생하는 2-DEG를 채널층으로 하는 트랜지스터 소자임
MEMS소자 Atomic Force Microscopy용 probe 제조 기술 ㆍAtomicForceMicroscopy는 미세 탐침을 시료에 근접시켜 시료와 탐침 끝 사이의 미세한 원자간 미세한 상호 작용을 이용하여 표면 형상을 비롯한 다양한 특성을 측정할 수 있는 장치이다.
MEMS소자 Differentive Optical Element 소자 제조기술 ㆍ Differentive Optical Elements는 Laser, LED 등의 광원 정면에 독립적으로 부착하여 광원의 분포를 변형시키거나 구현하고자 하는 영상을 형성하는 광학소자이며, 일반광학계로 구현할 수 없는 특수 소자로 빛의 회절 현상을 이용하여 고회절효율과 높은 균일도를 갖고 목표 형상을 생성할 수 있는 광학 소자임.
MEMS소자 프로브 카드 Space Transformer용 글라스 기반 기판 제조 기술 ㆍ 반도체 검사 장비에 사용되는 부품인 프로브 카드 제작에 사용되는 Space Transformer 를 기존의 세라믹 재질의 Multi Layer Ceramic Circuit(MLCC)에서 글라스 재질의 Multi Layer Glass Circuit(MLGC)으로 제작
하기 위한 기술 개발
ㆍ 이를 위해 MEMS 공정 기술 및 유사 공정 기술을 활용한 글라스 기반 적층 기술을 확보

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