시설현황
연구시설 및 장비현황
- 건물현황
- 지상 16층 지하 2층
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- FAB &CUB동(9,641m²) : 클린룸 (3,450m²) 및 시설동(6,191m²)
- 연구벤처동(40,753m²) : 공동협력센터(KIST 등 8개 연구기관) 및 나노관련기업, 연구기관, 학교 등 입주 중
- 장비현황
- 총 200여대(취득금액 약 600억원)
연구개발(R&D)
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- 나노리소패턴 지원라인
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- 나노패턴 형성 공정
- 보유장비 : E-beam lithography, KrF, stepper Aligner, Nano-Imprinter 등
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- 나노R&D 지원라인
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- 에피 및 증착공정
- 보유장비 : MOCVD, MBE, Evaporator, Wet-station 등
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- 특성평가 지원라인
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- 표면, 구조 및 특성 분석
- 보유장비 : TEM, FIB, SEM CL 및 AFM 등
산업화
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- SI&MEMS 지원라인
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- 8 기반의 Si&MEMS 공정
- 보유장비 : I-line Stepper, CD-SEM, Sputter, Wet-station 등
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- 나노산업화 지원라인
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- 산업화 지원을 위한 증착 및 에칭 공정
- 보유장비 : Implanter, Sputter, LPCVD, ICP Etcher 등
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- 후공정 지원라인
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- 후공정 및 신뢰성 측정
- 보유장비 : Wire bonder, Dicing machine, Prober, 신뢰성 측정장비 등
from Wafer to Device
