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고감도 GaAs 기반 자기 홀 센서 소자 공정플랫폼 기술
ㆍ자기 홀 (Hall) 센서는 홀 효과를 이용하여 자기장을 효과적으로 감지하는 센서로서 자기장 측정뿐 아니라 물체의 위치 및 회전 및 전류등의 측정이 가능하여 사무기기 및 가전제품 모터 제어, 세탁기, 냉장고 등의 도어 스위치, 전류, 전력 측정 등 광범위하게 활용되고 있으며, 최근 IT 관련 기기의 발전으로 소형 카메라 모듈의 손떨림 보정 등서도 많이 활용되고 있음.
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고감도 GaAs 기반 자기 홀 센서 에피 플랫폼 기술
ㆍ자기 홀 (Hall) 센서는 홀 효과를 이용하여 자기장을 효과적으로 감지하는 센서로서 자기장 측정뿐 아니라 물체의 위치 및 회전 및 전류등의 측정이 가능하여 사무기기 및 가전제품 모터 제어, 세탁기, 냉장고 등의 도어 스위치, 전류,전력 측정 등 광범위하게 활용되고 있으며, 최근 IT 관련 기기의 발전으로 소형 카메라 모듈의 손떨림 보정 등서도 많이 활용되고 있음.
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에피기술
에피 평가 기술
에피 Quality 향상을 위한 평가기술
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에피기술
III-V(-Arsenide, -Phosphide) 에피성장 기술
III-V on GaAs, III-V on Ge, III-V on InP, III-V on Si 에피성장 기술 소개
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에피기술
III-V(-Nitride) 에피성장 기술
III-N on sapphire, III-N on SiC, III-N on Si 에피성장 기술 소개