공지사항
반도체 공정장비 (Etch) 심화 교육 교육생 모집 안내
- 등록일 2023.03.09
- 조회수 6909
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첨부파일
반도체 공정장비(Etch) 심화 교육_교육생 모집 안내.hwp 교육신청서.hwp 23년도 사전조사설문지.hwp 개인정보보호수집동의서.hwp
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반도체 공정장비 (Etch) 심화 교육 교육생 모집 안내 |
■ 교 육 명 : 반도체 공정장비 심화 교육 (Etch)
■ 교육목표 : 반도체 소자 제작을 위해 중요한 식각 공정의 응용기술을 이해하여 산업 현장에서 활용 가능한 실무기술 역량 향상을 위한 전문 인력양성
■ 교육기간 : 2023년 4월 5일(수) ~ 4월 6일(목) (총 16시간, 1일 8시간)
■ 교육장소 : 한국나노기술원 6층 교육장 & FAB (수원시 영통구 광교로 109)
■ 교육대상 및 모집인원
1) 교육대상 : 반도체/디스플레이 관련 중소？중견기업 재직자
2) 모집인원 : 8명 (선착순 마감) *예비자 적정 인원으로 추가 모집 예정
■ 교 육 비 : 무료
■ 신청기간 및 방법
1) 신청기간 : 2023년 3월 13일(월) ~ 3월 31일(금)
* 8명 이상 신청 시에는 3월 31일 이전이라도 신청 기간이 종료됩니다.
2) 신청방법 : 한국나노기술원(www.kanc.re.kr) 홈페이지 접속 > 공지사항 > 교육과정 확인 후 교육신청서/사전조사 설문지 작성/첨부하여 E-mail 신청, 접수(training@kanc.re.kr)
■ 문의처
1) 교육과정 문의 : 한국나노기술원 박주한 연구원 (T. 031-546-6233/E.-mail training@kanc.re.kr)
■ 기타 안내사항
- 교육시작 당일에 반드시 재직증명서와 개인정보보호 수집동의서(별첨)를 제출하여야 합니다.
- 인원이 적을 경우, 해당 교육과정은 개설되지 않을 수 있습니다.
- 식은 무료로 제공되나, 주차요금은 지원되지 않으므로 대중교통 이용바랍니다.
- 교육생 선발 여부는 교육 시작일 기준으로 2~3일 전까지 개별 안내 예정입니다. (이메일 및 문자)
- 본 과정은 실습을 포함한 2일 과정으로 업무 일정을 충분히 고려하여 신청해주시기 바라며, 사전 연락 없이 불참 시 소속 기업의 교육 신청이 제한될 수 있습니다.
■ 세부 교육 내용
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교육과정명 |
반도체 공정장비(Etch) 심화 교육 |
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교육 목표 |
반도체 소자 제작을 위해 중요한 식각 공정의 응용 기술을 이해하여 소자 제작에 영향을 미치는 기술들을 파악함으로서 산업 현장에서 활용 가능한 실무기술 역량 향상을 위한 전문 인력양성 |
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교육 내용 |
- 식각 공정을 이해하고 장비를 활용하는 실습 교육 - 공정에서 중요시 되는 핵심기술을 이해하고 실습을 통해 익힘 |
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교육 대상 |
반도체 단위공정 중 포토공정 기술력이 요구되는 산업체 재직자 |
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교육 인원 |
8명 |
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활용 장비 |
절연막 식각 장비 (Centura eMax) |
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교육 재료 |
Pattern 웨이퍼 10매 (SiNx 5매, SiO2 5매), Gas, PCW, 청정용품 등 |
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교육 기간 |
16시간 |
* 세부 일정
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일 정 |
주 제 |
교육내용 |
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1일차 |
09:00~10:00 |
오리엔테이션 |
교육 과정 안내 및 조 편성 |
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10:00~11:00 |
팹 출입 안전교육 |
· 클린룸의 필요성, 원리 등의 이해, 클린룸 내 준수사항 · Fab 내 사용 유해물질(가스,케미컬 등) 이해 |
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11:00~12:00 |
주요공정 이론교육 |
· 주요 공정 실무기술의 이해 |
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12:00~13:00 |
중 식 |
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13:00~18:00 |
식각공정 실무 교육 |
· 주요 공정 이슈 소개 · 식각공정 최신 기술동향 이해 |
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2일차 |
09:00~10:30 |
식각 공정 실습 이론 교육 |
· C/F 비율 변화에 따른 SiO2, SiNx의 식각률 및 식각 선택비 조건 형성 방법 교육 · 실습 Wafer의 설명 및 측정 방식 교육 |
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10:30~12:00 |
식각 공정 실습 |
· 식각 장비 설명 · 실습 공정 조건 작성 및 장비 운용 교육 |
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12:00~13:00 |
중 식 |
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13:00~16:00 |
식각 공정 실습 |
· 조건 별 식각 공정 교육 · PR Strip을 위한 Ashing 공정 교육 · 식각 단차 측정 (알파스텝) |
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16:00~17:00 |
식각 공정 실습 이론 교육 |
· 실습 공정 결과 분석 교육 |
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17:00~18:00 |
교육 평가 및 수료식 |
· 교육 평가 및 수료식 개최 |
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※ 위 일정은 교육 여건 및 상황 등에 따라 변동될 수 있습니다.
■ 교육장 오시는 길
한국나노기술원 : www.kanc.re.kr 접속 > 기술원 소개 > 찾아오시는 길
- 주소 : 경기도 수원시 영통구 광교로 109 (동수원 IC에서 10분거리)
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