※ 소자·공정 분야 신청자는 정부지원금의 20% 내에서 측정·분석분야 사용 가능하며, 측정·분석 분야 신청자는 정부지원금의 35% 내에서 소자·공정분야 사용 가능

- 소자·공정장비 활용 시 정부지원금 최대 15백만원 이내 지원
- 측정·분석장비 활용 시 정부지원금 최대 8백만원 이내 지원

○ 그룹단위 신청 가능(최대 4명)

- ex. 그룹 A : 소자·공정 2명, 측정·분석 1명으로 구성 ⇒ 총 2,500만원 지원 가능
※ 신청서는 그룹 구성원별 각각 작성(홈페이지 양식 참조)

○ 우대 사항 
- 신진연구자*, 여성 연구자, 정부과제가 없는 지방대학**(수도권 이외) 연구자
 : 팹시설 이용료의 90%지원
     * 신진연구자 : 이공계분야 전임교수로서 공고일 기준 최초 임용 후 5년 이내 또는 박사학위 취득 후 7년 이내
     ** 지방대학 : 서울, 인천, 경기, 기타(KAIST, GIST, DGIST, UNIST, POSTECH) 이외 대학
    - 비전임 연구자* : 팹시설 이용료의 90% 지원
     * 비전임 연구자 : 대학 소속 연구자로서 전임교수(조교수 이상)가 아닌 자
○ 지원인원 : 신청현황, 대학 규모 및 평가결과 등을 고려하여 대학별 안배, 대학별 12명 이하
○ 지원분야 : 나노팹이 보유한 시설을 필요로 하는 연구
○ 장비사용기간 : 장비사용 승인일로부터 12개월
   * 중간성과 및 만족도 조사 : 2022년 11월 11일까지
   * 이용자 결과 보고서 주관기관에 제출기한 : 장비사용기간 이내에 작성(장비사용 완료 후 15일 이내)

4. 지원절차

5. 신청ㆍ접수ㆍ이용
○ 신청ㆍ접수 기간 : 2022. 2. 4. ~ 2022. 3. 4.
○ 신청방법 : 나노팹시설활용지원사업 웹사이트(http://fab.kion.or.kr) → “활용신청서” 작성 및 제출
* 선정 결과 발표 후, 선정자에 한하여 재직증명서 업로드(제출)
○ 선정확인 : 나노팹시설활용지원사업 웹사이트에서 확인 가능
○ 장비이용 : 선정된 이용자는 이용료의 부담금 비율에 해당되는 금액을 해당 나노팹에 납부하고 활용계획에 따라 장비를 이용

6. 선정평가
○ 관련 전문가로 평가단을 구성하여 연구목표 및 기대효과, 나노팹 시설 사용과 연구와의 연계성, 연구 주체 수행 능력 및 준비성, 연구책임자의 현재 정부수탁연구비 총액 등에 대해 서면평가를 실시하여 선정

○ 우수연구자 : 본 사업 참여로 성과를 창출한 연구자로서 선정평가 시 가산점 부여(최근, 3년(2019.1.1~2021.12.31) 이내 성과에 한함)
   - 논문 : 사사표기 1점(장비활용 사사표기 0.5점)
   - 학술대회 발표 : 사사표기(포스터) 0.5점
   - 특허 : 사사표기(출원 및 등록) 1점 
* 이 발명을 지원한 국가연구개발사업에 사업명과 과제코드, 과제고유번호 기입 시 성과 인정
   - 수상 : 학술대회 등에서 수상(증빙자료) 2점
   - 기술이전 및 제품화 성과(증빙자료) 3점 
○ 신진·여성·정부과제가 없는 지방대학 연구자, 비전임 연구자, 일반연구자를 구분하여 평가
- 신진, 여성, 정부과제가 없는 지방대학, 비전임 연구자 선정 비율 : 70% 이상
○ 평가 시 승인금액(정부지원금 및 이용자부담금)은 선정평가위원회에서 조정 가능

7. 문의처 
 ○ 국가나노인프라협의체(주관기관) : 042-862-9126, 719-9127, 9131
 ○ 나노종합기술원(나노팹/대전) : 042-366-2023, 2020
 ○ 한국나노기술원(나노팹/수원) : 031-546-6431, 6520