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8인치 팹서비스 현황

  • 8인치 팹서비스 관련 문의 (정상현 실장 : 031-546-6216, sanghyun.jung@kanc.re.kr)
직원검색 : 부서명, 팀 명, 담당자, 연락처, 이메일 구성
분    야 장 비 명 제 작 사 모 델 명 주요 사양 비    고
Photo KrF Stepper ASML PAS 5500/350C - Wafer size: 8 inch
- Resolution: 150 nm
- Overlay accuracy: 28 nm
서비스
진행중
Etching Insulator/
Silicon Etcher
Applied
Materials

Centura II

(eMax, DPS+ Poly, ASP+)

- Wafer size: 8 inch

- 절연막 식각 속도 : 600nm/min

- 실리콘 식각 속도 : 180nm/min

서비스예정

(‘22.06.)

Metal Etcher APTC Selex 200

- Wafer size: 8 inch

- Plasma Source : ACP source

- Ti, TiN, Al Etch

서비스예정

(‘22.06.)

Asher PSK

DAS2000

- Wafer size: 8 inch

- Type : Microwave type

- Working Temp : R.T.~250℃

서비스

진행중

Thin

Film

Endura Sputter

Applied

Materials

Endura-5500

- Wafer size : 8inch

- Ti, TiN, Cu, Ta(N) 증착

서비스

진행중

Evatec Sputter Evatec

CLUSTERLINE 200II

- Wafer size : 8inch

- Ti, TiN, Al, Cu, 증착

서비스

진행중

W / Plasma CVD

Applied

Materials

Centura®Sprint

-Wafer size : 8inch

-W, TEOS, SiNX, SiON 증착

서비스

진행중

HDP-CVD

Applied

Materials

Centura Ultima + DxZ

- Wafer size : 8inch

- HDP USG, FSG

- SiH4 Based SiO2. SiNX

서비스예정

(‘22.09.)

Cu Plating Class One Solstice S4

- Wafer size: 6, 8 inch

- Damascene: ≤ 250 nm, TSV: ≥ 1 μm

서비스

진행중

Metal ALD (주)엔씨디

LUCIDATM

M300PL-M

- Wafer size: Pieces ∼ 12 inch

- Target: TiN, TaN, Co, Ru

서비스

진행중

Insulator ALD (주)엔씨디

LUCIDATM

M300PL-O

- Wafer size : Pieces ∼ 12 inch

- Target: Al2O3, HfO2, ZrO2, Ta2O5

서비스

진행중

CMP W/Oxide CMP EBARA F-REX200

- Wafer size: 8 inch

- Polishing rate : > 300 nm/min

- WIW uniformity : < 5%

서비스

진행중

Cu CMP EBARA F-REX200

- Wafer size: 8 inch

- Polishing rate : > 350 nm/min

- WIW uniformity : < 5%

서비스

진행중

Wet 자동 습식 세정 장치 썬패치테크노 SUN-L19-11

- Wafer size: 6, 8inch

- Acid Cleaning

서비스

진행중

웨이퍼 후면 세정기 이노맥스 ASTRO2013

- Wafer size : 8 inch

- DHF, SC1, SC2 cleaning

서비스

진행중

자동습식세정장치
(산, 유기)
ATIS -

- Wafer size : 8 inch

- SPM, Acid, Organic Cleaning

서비스예정

('22.06.)

Thermal

Rapid Thermal

Processing

뉴영엠텍 RTA200H-AP1

- Wafer size: 4, 6, 8 inch

- Process Temp : 300~1200 ℃

서비스

진행중

Furnace 피앤테크 PF-V81

- Wafer size: 8 inch

- Process Temp : 300~500 ℃

서비스예정

('22.08.)

Inspection 8 inch FIB

Thermo-Fisher

Helios 5G UX

- Wafer size : 8 inch

- SEM 분해능 :< 0.7 nm at 15 kV

- Ion 분해능: < 3 nm at 30 kV

서비스

진행중

Ellipsometer J.A.Woollam M-2000Xlc

- Wafer Size : 4~12inch

- 측정 파장 : 245 ~ 1690 nm

- Beam size : ~360 μm

서비스

진행중

면저항 측정기 AIM AFP-300

- Wafer Size : 4~8inch

- 측정범위: 1 mΩ/sq ∼ 2 MΩ/sq

서비스

진행중

오버레이측정기 오로스테크놀로지 OL-100n

- Wafer Size : 8inch

- Tool Induced Shift mean ≤ 0.7nm

서비스

진행중

XRF ISP iEDX-150uT

- Wafer Size : 4~12inch

- XRF측정범위 : Al (13) ~ U (92)

서비스예정

('22.06.)

3D Laser Microscope KEYENCE VK-X3000

- Wafer Size : 4~12inch

- 3D 측정범위 : 최소 200nm 패턴

서비스예정

('22.06.)

Defect Inspection
System
KLA-Tencor AIT XP

- Wafer Size : 8 inch

- 광학계 : Dark Field

- Defect Sensitivity : 50~400nm

서비스예정

('22.08.)

Defect Review
SEM
Hitachi RS4000

- Wafer size : 8 inch

- ADR Rate : 90% or more

- ADC Accuracy : 85% or more

서비스예정

('22.08.)

EPI MOCVD Veeco K465i

- Wafer Size : 2~8inch

- 성장물질 : III-nitride

서비스예정

('22.08.)

Bonding Wafer Bonder Suss Micro GEN2

- Wafer Size : 4~8inch

Eutectic Bond, Adhesive Bond,

Align Module, Debond Module

서비스예정

('22.06.)