장비안내
| 장비명 | 담당자 | 연락처 | |
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| 초고주파 플라즈마 식각장비(Microwave Plasma Asher) | 김중헌 |  |
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| ICP etcher II(양자팹) | 임웅선 | |
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| ICP etcher I(양자팹) | 임웅선 | |
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| RIE II(foundry) | 최재원 | |
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| Liftoff Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
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| Organic Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
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| Alkali Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
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| Acid Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
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| SPM Wet-station(R&D) | 김명준 | |
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| Alkali Wet-station(R&D) | 김명준 | |
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