장비안내
| 장비명 | 담당자 | 연락처 | |
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| RIE II(foundry) | 최재원 |  |
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| Liftoff Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
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| Organic Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
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| Alkali Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
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| Acid Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
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| SPM Wet-station(R&D) | 김명준 | |
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| Alkali Wet-station(R&D) | 김명준 | |
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| Acid Wet-station(R&D) | 김명준 | |
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| Organic Wet-station(R&D) | 김명준 | |
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| Organic Wet-bench(Litho) | 하영준 | |
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