장비안내
장비명 | 담당자 | 연락처 | |
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RIE II(foundry) | 최재원 | ||
Liftoff Wet-Bench(R&D) | 김명준 | ||
Organic Wet-Bench(R&D) | 김명준 | ||
Alkali Wet-Bench(R&D) | 김명준 | ||
Acid Wet-Bench(R&D) | 김명준 | ||
SPM Wet-station(R&D) | 김명준 | ||
Alkali Wet-station(R&D) | 김명준 | ||
Acid Wet-station(R&D) | 김명준 | ||
Organic Wet-station(R&D) | 김명준 | ||
Organic Wet-bench(Litho) | 하영준 |