장비안내
| 장비명 | 담당자 | 연락처 | |
|---|---|---|---|
| Deep-Si Reactive Ion Etcher (양자팹) | 임웅선 |  |
 |
| 초고주파 플라즈마 에셔장비(Microwave Plasma Asher) | 이해성 | |
|
| ICP etcher II(양자팹) | 임웅선 | |
|
| ICP etcher I(양자팹) | 임웅선 | |
|
| RIE II(foundry) | 최재원 | |
|
| Liftoff Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
|
| Organic Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
|
| Alkali Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
|
| Acid Wet-Bench(R&D) | 김명준 | |
|
| SPM Wet-station(R&D) | 김명준 | |
|
