장비안내
장비명 | 담당자 | 연락처 | |
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ICP etcher II(양자팹) | 박관열 | ![]() |
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ICP etcher I(양자팹) | 박관열 | ![]() |
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RIE II(foundry) | 최재원 | ![]() |
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Liftoff Wet-Bench(R&D) | 김명준 | ![]() |
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Organic Wet-Bench(R&D) | 김명준 | ![]() |
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Alkali Wet-Bench(R&D) | 김명준 | ![]() |
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Acid Wet-Bench(R&D) | 김명준 | ![]() |
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SPM Wet-station(R&D) | 김명준 | ![]() |
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Alkali Wet-station(R&D) | 김명준 | ![]() |
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Acid Wet-station(R&D) | 김명준 | ![]() |
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