장비안내
Si BEOL & GaN MPW
- 장비아이디 FS-OL10
- 장비명 Overlay metrology system
- Model OL-100n
- Maker Aurostechnology
- 담당자 안주영
- 연락처 031-546-6247
- E-Mail juyoung.an@kanc.re.kr
- 상 태 ● (가동중)
적용가능한 기판 정보
O (가능) / △ (협의필요) / X (불가능)
| 기판 종류 | 기판 Size | 기판 Type | 기판 두께 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Si | III-V | Glass | Flex | 조각 | 2" | 4" | 6" | 8" | 12" | 플랫 | 노치 | Normal | Special |
| O | O | O | X | X | X | X | O | O | X | O | O | O | △ |
장비사양(Hardware Specification)
ㆍ Wafer size : 8 inch (6 inch 측정 가능)
ㆍ Wafer carrier (2ea) : Open cassette, 6/8 inch
ㆍ Wafer type : Flat and Notch (< 1.5T)
ㆍ Auto-focus system
ㆍ Light source : Halogen lamp
ㆍ Objective lens : 5x / 100x (0.7NA)
ㆍ Wafer handler robot : Stand alone
ㆍ Wafer material : Silicon (Sapphire/SiC 측정 가능)
ㆍ Throughput : MAM Time ≤ 1.5sec
ㆍ CD measurement (0.5~28um)
ㆍ Color filter : Ivory/White/Green/NIRW
ㆍ Pattern recognition (Geometric model finder)
공정성능(Process Specification)
ㆍ Precision ≤ 0.5nm
ㆍ TIS(Tool Induced Shift) mean ≤ 0.7nm
ㆍ TMU(Total Measurement Uncertainty) ≤ 1.1nm
