장비안내
Si BEOL & GaN MPW
- 장비아이디 FS-SR10
- 장비명 8inch Wafer Automatic Sheet Resistance Measurement
- Model AFP-300
- Maker AIM
- 담당자 박범두
- 연락처 031-546-6242
- E-Mail bumdoo.park@kanc.re.kr
- 상 태 ● (가동중)
적용가능한 기판 정보
O (가능) / △ (협의필요) / X (불가능)
| 기판 종류 | 기판 Size | 기판 Type | 기판 두께 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Si | III-V | Glass | Flex | 조각 | 2" | 4" | 6" | 8" | 12" | 플랫 | 노치 | Normal | Special |
| O | O | O | X | O | O | O | O | O | O | O | O | O | △ |
장비사양(Hardware Specification)
ㆍ On-wafer Measurement
ㆍ Wafer size : 4 ~ 12 inch
ㆍ Semi-auto probe
ㆍ 4 axis auto mapping vacuum stage (X, Y, Z, R)
ㆍ Measuring time : range search max. 3s / actual 2s
공정성능(Process Specification)
ㆍ Measuring Range : 1mohm/sq ~ 1Gohm/sq
ㆍ Current Range : 10nA to 100mA
ㆍ Measurement accuracy : ±1% (@23℃)
활용분야(Application)
ㆍ Sheet Resistance Measurement
ㆍ Resistivity Measurement
ㆍ Calculation of metallic film thickness
