장비안내
Si BEOL & GaN MPW
- 장비아이디 FS-EM10
- 장비명 Automatic Ellipsometer
- Model AE-86, M-2000Xlc
- Maker AIM, J.A.Woollam
- 담당자 김대영
- 연락처 031-546-6249
- E-Mail daeyoung.kim@kanc.re.kr
- 상 태 ● (가동중)
적용가능한 기판 정보
O (가능) / △ (협의필요) / X (불가능)
| 기판 종류 | 기판 Size | 기판 Type | 기판 두께 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Si | III-V | Glass | Flex | 조각 | 2" | 4" | 6" | 8" | 12" | 플랫 | 노치 | Normal | Special |
| O | △ | △ | X | X | X | △ | O | O | △ | O | O | O | △ |
장비사양(Hardware Specification)
ㆍ On-wafer Measurement
ㆍ Wafer size :
- 6, 8 inch (Auto)
- 12 inch (Manual)
ㆍ Auto load/unload, Mapping
ㆍ Alignment system accuracy: center<0.1mm, angle<0.1º
ㆍ Spectral range: 245~1690 nm
ㆍ Incident angle: 65º
공정성능(Process Specification)
ㆍ Measurement thickness:
- 1Å ~ 8μ (@SiO2)
ㆍ Measurement accuracy:
- <1% (@SiO2 2nm/Si)
활용분야(Application)
ㆍ Thickness measurement of transparent films
ㆍ Refractive index measurement of transparent films
ㆍ Films: SiO2, Si3N4, SiON, Al2O3, HfO2, Ta2O5 ..
