모듈공정기술
| 기술명 | 글라스 기판 기반 e-beam lithography (EBL) 공정 적용 나노구조 제작공정 기술 | ||||||
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| 주요결과 |
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| 활동분야 | ㆍ 나노구조 기반 광학소자 또는 관련 응용 분야 | ||||||
| 기술관련문의 | ㆍ 공정서비스지원실 이지환 책임 (031-546-6226, heekwan.lee@kanc.re.kr) | ||||||
| 플랫폼 기술자료 | |||||||
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