소자기술
기술명 | Atomic Force Microscopy용 probe 제조 기술 | ||
---|---|---|---|
요약 | ㆍAtomicForceMicroscopy는 미세 탐침을 시료에 근접시켜 시료와 탐침 끝 사이의 미세한 원자간 미세한 상호 작용을 이용하여 표면 형상을 비롯한 다양한 특성을 측정할 수 있는 장치이다. | ||
결과 | |||
사진 |
|
||
기술적가치 | |||
활동분야 | ㆍ일반AFM 측정용 Si Probe 제작 ㆍ다양한 SPM측정용 Probe 연구개발 |
||
기술관련문의 | ㆍ 시스템반도체공정개발실 정해용 선임 (031-546-6331, haeyong.jeong@kanc.re.kr) |