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소자기술

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기술소개 : 기술명, 요약, 결과, 사진, 기술적가치, 활동분야, 기술관련문의로 구성
기술명 Atomic Force Microscopy용 probe 제조 기술
요약 ㆍAtomicForceMicroscopy는 미세 탐침을 시료에 근접시켜 시료와 탐침 끝 사이의 미세한 원자간 미세한 상호 작용을 이용하여 표면 형상을 비롯한 다양한 특성을 측정할 수 있는 장치이다.
결과
사진
  • AtomicForceMicroscopy는 미세 탐침을 시료에 근접시켜 시료와 탐침 끝 사이의 미세한 원자간 미세한 상호 작용을 이용하여 표면 형상을 비롯한 다양한 특성을 측정할 수 있는 장치이다. AtomicForceMicroscopy에 의하여 측정되는 힘은 기계적인 접촉힘, 반 데르 발스 힘 (Van der Waals force), 표면 장력 (capllary force), 화학적 본딩 (chemical bonding), 정전기력(electrostatc force), 자기력 (magnetic force), 카시미르 힘 (Casimir force), 용매화 힘 (solvation force) 등등이다. 추가적으로 열적 성질과 같은 물리량도 즉석에서 측정할 수가 있다.이러한 다양한 측정을 하는데 있어서 원하는 측정을 하기 위해서는 적합한 형태의 Probe 이용이 필수적이다. 이러한 적합한 형태의 Probe 이용을 위해서는 Probe 제작 및 응용연구가 필요하나 기존의 AFM 탐침은 전량 수입에 의존하고 있어 이를 응용한 여러 개발에 한계를 가지고 있다.기술원에서는 AFM, SPM의 응용연구를 위하여 기본적인 Probe를 제작하여 여러 다양한 형태의 Probe 개발을 지원하고자 한다.

 

  • Fabrication procedure  

Fabrication procedure

  • 제작Probe image

제작Probe image 제작Probe image
제작Probe image
기술적가치
활동분야 ㆍ일반AFM 측정용 Si Probe 제작
ㆍ다양한 SPM측정용 Probe 연구개발
기술관련문의 ㆍ 시스템반도체공정개발실 정해용 선임 (031-546-6331, haeyong.jeong@kanc.re.kr)
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