시험분석기술
| 기술명 | Mechanical polishing 및 ion milling을 이용한 TEM 샘플 제작 기술 | ||
|---|---|---|---|
| 요약 | ㆍ A/R (>10:1)의 홀패턴의 Cross section TEM시편 제작 ㆍ Polymer 보호층을 이용하여 샘플의 Damage를 최소화 ㆍ FIB보다 넓은 영역의 시편 구현 가능 ㆍ 위치의 선택성이 있는 TEM 샘플 제작 |
||
| 결과 | ㆍ 한 시편에서 다양한 두께의 TEM시편 제작 ㆍ 특정 위치를 선택하여 TEM 샘플 제작 (100 um 이내) ㆍ 수십 나노 스케일의 Hole pattern 샘플의 damage 없이 TEM 측정 |
||
| 사진 |
|
||
| 기술적가치 | |||
| 활동분야 | ㆍ 다양한 Pattern의 TEM 샘플 제작 ㆍ 보다 넓은 영역을 측정 가능한 샘플 제작 |
||
| 기술관련문의 | ㆍ 시험분석실 조명주 선임 (031-546-6051, myungju.cho@kanc.re.kr) | ||
