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패터닝기술

기술소개 공정기술 패터닝기술

총 게시물 : 9 페이지 : 2/2

패터닝기술 나노패턴 금속시트 제작 기술 ㆍ Flexible 디바이스의 활용성이 커짐에 따라 관련 수요가 많아지고 있음.
ㆍ 일반적인 반도체 공정으로는 Flexible 기판에 나노 패턴을 형성하기 어려움.
ㆍ Roll-to-Roll 임프린트 리소그래피가 이상적인 방법이지만, stamp 제작문제 등 아직 해결해야 할 문제가 남아있음.
ㆍ 기존의 반도체 공정을 이용하여 나노 패턴이 형성된 flexible 기판 제작이 필요해 짐.
패터닝기술 대면적 나노 템플릿 제조기술 ㆍ 기존의 질화물계 LED 소자 기술과 나노 기술을 융합한 나노 구조의 고출력 LED 소자를 제작하기 위하여 나노임프린트 공정을 적용하여 대면적 n-GaN nanorods 성장용 나노 template 패턴 공정을 확립함.
패터닝기술 나노임프린트 기반 다양한 나노패턴 형성 공정 기술 ㆍ 나노임프린트 공정을 이용하여 다양한 나노구조체를 형성함.
패터닝기술 기능성 금속 산화물 3차원 구조체 형성 기술 ㆍ 디스플레이 산업이 발전함에 따라 투명 전자소자의 필요성이 대두되고 있다. 투명 전자소자로서 활용 가능한 기능성 금속 산화물 박막의 패터닝 기술을 개발하고자 연구를 진행함
ㆍ 소자 제작에 다양한 크기의 patterning이 필요한 경우 종래의 복잡한 공정을 획기적으로 줄이고자 함.

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