패터닝기술
| 기술명 | 나노패턴 금속시트 제작 기술 | ||
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| 요약 | ㆍ Flexible 디바이스의 활용성이 커짐에 따라 관련 수요가 많아지고 있음. ㆍ 일반적인 반도체 공정으로는 Flexible 기판에 나노 패턴을 형성하기 어려움. ㆍ Roll-to-Roll 임프린트 리소그래피가 이상적인 방법이지만, stamp 제작문제 등 아직 해결해야 할 문제가 남아있음. ㆍ 기존의 반도체 공정을 이용하여 나노 패턴이 형성된 flexible 기판 제작이 필요해 짐. |
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| 결과 | ㆍ 나노 패턴이 형성된 Ni metal flexible sheet 제작 1. KrF Stepper를 이용한 패터닝으로 Energy에 따라 size 조절 가능. 2. Ni 뿐만 아니라, 증착 물질을 다양하게 사용할 수 있음. ㆍ 나노 패턴이 형성된 금속 시트 개발 관련 발표 실적 1. 2013/11 Thin solid film : Fabrication of nanopatterned metal sheet using photolithography and electroplating Guard-ring |
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| 기술적가치 | ㆍ Flexible 기판에 나노 패턴을 간단하게 형성 ㆍ 기존 반도체 공정을 사용하기 때문에, 공정의 큰 변화 없이 바로 제작 가능. |
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| 활동분야 | ㆍ 나노/바이오 센서 ㆍ 고용량 Capacitor 전극 ㆍ 고출력 베터리 전극 |
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| 기술관련문의 | ㆍ 광소자개발실 신현범 책임 (031-546-6314, hyunbeom.shin@kanc.re.kr) | ||
