패터닝기술
| 기술명 | 대면적 나노 템플릿 제조기술 | ||
|---|---|---|---|
| 요약 | ㆍ 기존의 질화물계 LED 소자 기술과 나노 기술을 융합한 나노 구조의 고출력 LED 소자를 제작하기 위하여 나노임프린트 공정을 적용하여 대면적 n-GaN nanorods 성장용 나노 template 패턴 공정을 확립함. | ||
| 결과 | ㆍ Nanorods 성장용 나노 template 패턴 공정을 확립함 ㆍ 나노 template spec. hole diameter: 310nm, Pitch: 550nm |
||
| 사진 |
|
||
| 기술적가치 | ㆍ 대면적 나노 template 제작 |
||
| 활동분야 | ㆍ 고출력 LED 개발 분야 | ||
| 기술관련문의 | ㆍ 공정서비스지원실 김영재 원 (031-546-6238, youngjae.kim@kanc.re.kr) | ||
