패터닝기술
| 기술명 | 나노임프린트 기반 다양한 나노패턴 형성 공정 기술 | ||
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| 요약 | ㆍ 나노임프린트 공정을 이용하여 다양한 나노구조체를 형성함. | ||
| 결과 | ㆍ 나노임프린트 공정을 이용하여 다양한 종류 및 사이즈의 나노패턴 형성 공정 조건을 확립함 (150/250/300nm 직경의 나노홀 구조체, 400/500/650nm 직경의 나노필러 구조체) |
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| 기술적가치 | ㆍ 다양한 나노패턴 형성 | ||
| 활동분야 | ㆍ 나노패턴이 적용될 수 있는 분야 | ||
| 기술관련문의 | ㆍ 공정서비스지원실 김영재 원 (031-546-6238, youngjae.kim@kanc.re.kr) | ||
