패터닝기술
| 기술명 | 기능성 금속 산화물 3차원 구조체 형성 기술 | ||
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| 요약 | ㆍ 디스플레이 산업이 발전함에 따라 투명 전자소자의 필요성이 대두되고 있다. 투명 전자소자로서 활용 가능한 기능성 금속 산화물 박막의 패터닝 기술을 개발하고자 연구를 진행함 ㆍ 소자 제작에 다양한 크기의 patterning이 필요한 경우 종래의 복잡한 공정을 획기적으로 줄이고자 함. |
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| 결과 | ㆍ기능성 금속 산화물 박막의 3차원 Micro-Nano hybrid 구조체를 형성 조건 확립 1. Photo lithography를 이용하여 적당량보다 부족한 dose로 micro size의 patterning을 선 진행한 후 2. Nano imprint lithography에서 부족한 dose를 UV Imprinting을 통하여 조사하여 nano size의 patterning을 진행함으로서 micro-nano hybrid 복합 구조체를 형성조건 확립. |
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| 기술적가치 | ㆍ 금속 산화물 박막을 이용한 서로 다른 크기의 3차원 구조체 형성을 통해 다양한 소자 제작 가능 | ||
| 활동분야 | ㆍ LED, LD등 광 소자 분야 ㆍ 전자소자 분야 |
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| 기술관련문의 | ㆍ 나노인력양성사업단 김서연 (031-546-6237, seoyeon.kim@kanc.re.kr) | ||
