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XRF & 3D Laser Microscope(X선형광분석기 및 3D 레이저 현미경)
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Joongheon Kim |
joongheon.kim@kanc.re.kr |
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Acid/Organic Wet Station (산/유기 습식 세정 장치)
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Myeongjoon Kim |
myeongjoon.kim@kanc.re.kr |
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Defect Review Scanning Electron Microscope (결함전자현미경)
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Juyoung An |
juyoung.an@kanc.re.kr |
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HDP-CVD(고밀도플라즈마 화학기상증착기)
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Sungmin Park |
sungmin.park@kanc.re.kr |
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Wafer Defect Inspection System(웨이퍼 결함 검출기)
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Juyoung An |
juyoung.an@kanc.re.kr |
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RF Noise Parameter Measurement System(초고주파잡음 측정시스템)
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Deoksoo Park |
deoksoo.park@kanc.re.kr |
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SiC Etcher(탄화실리콘 고속 식각 장비)
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Hyunwoong Kim |
hyunwoong.kim@kanc.re.kr |
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Insulator/Si Etcher (절연막/실리콘 식각 장비)
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Sungmin Park |
sungmin.park@kanc.re.kr |
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Metal Etcher (금속막 식각 장비)
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Sungmin Park |
sungmin.park@kanc.re.kr |
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Furnace II (저온열처리로)
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Hyunwoong Kim |
hyunwoong.kim@kanc.re.kr |
