공지사항
KANC 신규장비 안내 : FESEM III(FC-SM30)
- 등록일 2008.05.13
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사양
ㆍ 가속 전압 : 0.1 kV ~ 30 kV
ㆍ 영상 분해능 : 1.5 nm at 1 kV, 1 nm at 15 kV
ㆍ Cold cathode field emission type electron source
용도
ㆍ 전자빔을 이용한 고분해능의 시료 표면과 단면의 imaging
ㆍ BSE 검출기를 이용한 Z-contrast imaging
사용안내
ㆍ 서비스 예정일 : 2008년 5월 13일
ㆍ 문의 : 특성평가팀 (김영주 : 031-546-6051)
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