공지사항
KANC 신규장비 안내 : FIB II(FC-FI20)
- 등록일 2008.05.06
- 조회수 19872
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장비명 : FIB II (FC-FI20)
제조사 : FEI (USA)
모델 : Quanta 3D FEG
⊙ 사양
SEM
가속전압 : 0.1 ~ 30kV, 분해능 : 1.2nm at 30kV
FIB
가속전압 : 2 ~ 30kV, 분해능 : 7nm at 30kV
Sample stage : 50mm (약 2inch)
⊙ 응용 분야
Ultra Low ion damage TEM 시편 제작
대면적 Ion milling (High current)
고정밀 회로 수정 (Pt, SiO2 패턴 Deposition)
비트맵을 이용한 고해상도 패턴 제작
Wet sample 표면 분석 (ESEM)
⊙ 사용안내
서비스 예정일 : 2008년 5월 6일
문의 : 특성평가팀 (박문희 ☎031-546-6219, 박덕수 ☎031-546-6321)
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