1. 장비 교육 개요
□ 직접 사용자의 장비 서비스 활성화를 위하여 E-Beam Lithography System 장비 교육을 실시함.
□ 교육 대상 장비 : JBX9300FS, JBX6000FS/E
□ 직접 사용자는 교육 과정을 이수 후 장비 직접 사용 가능함.
□ 신청 기간
- 1차 신청 기간 : 2009년 2월 25일 ~ 3월 4일
- 2차 신청 기간 : 수시 접수 가능함.
□ 교육 관련 문의 및 신청
- 담당자 연락처 : 031-546-6216 (shjung@kanc.re.kr)
- 교육 신청은 이메일로 가능함 (shjung@kanc.re.kr)

2. 장비 교육 내용
□ 교육 인원은 회당 2~3명을 원칙으로 하며 일정은 담당자와 협의 후 조정이 가능함.
- 1회당 교육 인원 : 2~3명 (인원은 담당자와 협의 후 조정 가능함)
- 교육 기간 : 2~3주
□ 장비 교육비는 아래와 같음.
- JBX9300FS : 500만원 (단, JBX6000FS/E 기 교육 이수자는 300만원)
- JBX6000FS/E : 300만원
※ 교육비는 모든 고객에 대하여 할인율 없이 정산한다.
□ 교육 내용
- E-Beam Lithography 이론 교육
- GDS data converting
- E-Beam resist coating and bake
- Job deck file, schedule file and magazine file
- Machine calibration, loading and unloading
- Exposure, develop and pattern inspection
- Alignment training (global mark and chip mark detection)