장비안내
| 장비명 | 담당자 | 연락처 | |
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| Acid/Organic Wet Station (산/유기 습식 세정 장치) | 김명준 |  |
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| Defect Review Scanning Electron Microscope (결함전자현미경) | 고상현 | |
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| HDP-CVD(고밀도플라즈마 화학기상증착기) | 박성민 | |
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| Wafer Defect Inspection System(웨이퍼 결함 검출기) | 고상현 | |
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| RF Noise Parameter Measurement System(초고주파잡음 측정시스템) | 박덕수 | |
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| Insulator/Si Etcher (절연막/실리콘 식각 장비) | 임웅선 | |
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| Metal Etcher (금속막 식각 장비) | 임웅선 | |
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| Furnace II (저온열처리로) | 김현웅 | |
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| MOCVD VIII (N) | 조주영 | |
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| Overlay metrology system | 안주영 | |
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