패터닝기술
| 기술명 | 극자외선 패턴 형성 기술 | ||
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| 요약 | ㆍ 고해상도 나노구조체 형성 기술을 최적화하여 다양한 나노구조체 형성기술 확립. | ||
| 결과 | ㆍ 극자외선 노광공정을 이용하여 다양한 종류의 패턴 형성 공정 조건을 확립 | ||
| 사진 | ㆍ 대면적 나노 패턴 공정 최적화(Nanohole/pillar/line) |
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| 기술적가치 | ㆍ High density 패턴 공정 최적화를 통한 다양한 나노패턴 형성 | ||
| 활동분야 | ㆍ 반도체 응용분야, 바이오센서 | ||
| 기술관련문의 | ㆍ 공정서비스지원실 이지환 책임 (031-546-6226, heekwan.lee@kanc.re.kr) | ||
