패터닝기술
| 기술명 | 20nm 급 3차원 구조체 형성 기술 | ||
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| 요약 | ㆍ 신 성장동력산업으로 바이오 분야의 연구가 활발하게 이루어 지고 있음. ㆍ 바이오테크놀로지 분야의 나노유체소자에는 보다 정밀한 분석 및 작용을 위하여 미세한 구조체가 요구 됨. |
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| 결과 | ㆍ 20nm 급의 3차원 구조체 형성 기술 개발 | ||
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| 기술적가치 | ㆍ 미세한 3차원 나노구조체의 형성으로 다양한 나노유체소자에 응용될 수 있음 | ||
| 활동분야 | ㆍ 바이오 센서 분야 | ||
| 기술관련문의 | ㆍ 시스템반도체공정개발실 김창환 선임 (031-546-6336, changhwan.kim@kanc.re.kr) | ||
