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주요사업 및 성과

나노팹 서비스를 통한 지역경제 활성화 및 국가산업발전에 기여

나노팹 활용 사업
고객친화형 팹 서비스 (맞춤형 One-Stop 서비스)
  • 신속 정확한 공정 및 분석서비스 제공
  • 고품위 공정 및 분석서비스 기반 확립
  • 이용자 중심의 개방형 팹운영(Open Fab)
  • 지속적인 장비고도화 추진
핵심 선행공정 및 분석기술개발
미래부 ‘화합물반도체 선행공정 기술 플랫폼 개발사업’
  • 단순 공정지원의 팹서비스가 아닌 수요자의 고부가 가치 및 집적화 요구에 부응하여 나노기술 및 시장 수요 변화에 선제적 대응
  • 고객 지향형 다양한 소자설계 및 기술컨설팅 시스템 운영
  • 중장기 계획 (9년간 / 22개 기술 우선 개발)
 
펩활용건수 장비가동율 핵심나노공정 분석기술개발건수 기업 등 애로기술 지원건수
이용자 지원 정부 사업 추진
과학기술정보통신부
  • 대학연구자 지원 대학연구자의 장비사용료의 70% 또는 90%를 지원
  • 기대효과 나노 기초원천기술개발을 촉진하고 대학의 연구능력을 제고
중소벤처기업부 『연구장비공동활용지원사업』
  • 중소기업 지원 중소기업 장비사용료의 60% 또는 70%를 온라인 바우처로 지원
  • 기대효과 대학 및 연구기관이 보유한 첨단 연구장비의 중소기업 공동활용을 지원하여 국가장비 활용도 제고 및 중소기업 기술경쟁력 향상 기반 마련
핵심공정 · 분석기술개발 주요성과
  • GaN Nanorod Growth를 위한 SiO2 Nano Hole Array 패턴 형성
  • GaN 소자 개발을 위한 SiC Deep Etch Process
  • Au-In Low Temperature Bonding 공정
  • 1차원 구조의 금속산화물 나노소재 패턴형성
  • Direct Patterning of SiO2 by E-beam Lithography
  • ITO 나노패턴을 이용한 GaN-based LED 광 추출 효율향상
  • 포토리소그래피 및 전해도금 기술을 이용한 나노패턴이 형성된 유연금속기판
  • 집속이온빔을 이용한 단면 TEM 시편 제작기술
애로기술지원 주요성과
  • MEMS Si guide 제작 요청에 따른 Si High Aspect Ratio Deep RIE 공정
  • ICP 방식을 이용한 Si isotropic Etching 공정
  • Color Filter 제작을 위한 Ag Nono Hole Array형 구현 공정
  • VLED 제작공정을 위한 AIN와 GaN 식각 선택비 향상 공정
  • Nano Particle을 이용한 GaN 미세패턴 식각공정
  • 20nm급 전극 패터닝 공정
  • 수직 정렬형 ZnO 나노로드 패턴 공정
  • Photonic Device 적용을 위한 30nm급 나노패턴 공정
  • 고감도 E-Beam Resist 나노패턴 공정
  • Electro-plating을 이용한 Low Stress 고품질 Ni 패턴형성 공정
지역별 및 기관별 활용현황
지역별 및 기관별 활용현황

연구지원 역량강화를 통한 미래성장동력사업 육성

R&D 서비스역량 강화
국가 및 기업 R&DB사업 적극적 참여
  • KANC Platform Technology 확보
  • 도내 기업들과 외부수탁연구과제 공동수행
  • 장비활용도 제고
  • 특허 및 논문, 학술대회 발표
  • 핵심 지식 재산권 확보를 통한 기술이전 활정화로 기업사업화 촉진
창조적 · 지속 가능한 기술개발
전략적 기술제휴를 통한 협업강화
  • 세계 최고 수준의 기술력을 바탕으로 사물 인터넷(IoT), 웨어러블 스마트 디바이스용 나노소자 개발
  • 광소자용/전자소자용 GaN 에피와 일괄 소자 제작 공정 플랫폼 제공
  • 7개 공동주관기관(서울대, 성균관대, 한양대, 아주대, 경희대, KIST, KETI)과 협력체제 강화
외부수탁연구과제수 특허출원 논문발행 학술대회발표

공동 R&D 협력사례
  • R&D 프로그램명 나노양자정보 기술개발 프로그램
  • 공동연구센터 구성 KANC + KIST 나노양자정보연구센터
  • 공동센터 위치 KANC 1층
  • 연구분야 KANC의 시설 및 장비 활용 기반, 나노/양자 소자 및 IT 융합 시스템 개발기술

나노 양자소자 및 IT 융합시스템 개발

  • KANC
    Nanofabrication & Device Technology
    세계 수준의 연구개발 장비/시설
    다양한 나노기반 소자 제작 경험
  • KIST
    Quantum Information Technology
    양자암호 통신 기술
    Single Photon Detection 기술

현장실무형 나노기술 고급인력양성 및 일자리 창출시스템 구축

나노기술 고급 전문인력 양성
나노기술 전문인력양성 프로그램
  • 기술원자체교육, 팹장비교육, 대학생 학점인정 현장실섭교육
  • 미래부 ‘나노기술전문인력양성센터’ 지정 국가나노인프라를 활용한 전문인력양성사업
  • 나노소자, 나노측정, LED, 태양전지 교육
나노기술산업 현장인력 양성
특성화고 대상 기술교육
  • 사업자원부 · 경기도 · 경기도교육청 지원
  • 경기도내 특성화고등학생 대상
  • 교육과정(6개월)
사업소개 : 사업명, 지원부처, 교육내용 및 목적, 교육대상으로 구성
사업명 지원부처 교육내용 및 목적 교육대상
나노융합기술인력양성사업 산업통상자원부, 경기도, 경기도교육청 나노융합산업 현장에 필요한 현장기술인력양성을 통한 관련 중견중소 기업의 인력난 해소 및 청년 일자리 창출기여 경기도내 특성화 고등학교 졸업예정자
국가 나노인프라를 활용한 전문인력 양성사업 미래창조과학부 화합물반도체 나노소자 제작 및 핵심 단위공정 교육을 통한 전문기술인력양성 관련 대학(원)생, 산업체 현장인력, 연구소 연구인력
국가 인적자원 컨소시엄 사업 고용노동부 국내 세라믹 부품소재 기업대상으로 현장형 눈높이 교육을 통한 전문기술인력양성 산업체현장인력
팹 장비 교육 기술원자체교육 교육생의 팹 장비 직접 조작을 위한 이론 및 실습교육을 통해 장비가동률향상 및 장비의 직접 사용자 확대 관련 대학(원)생, 산업체 현장인력, 연구소 연구인력
대학생 학점인정 현장실습교육 기술원자체교육 나노반도체 전반에 대하여 학내에서 다루기 힘든 장비조작 및 공정 실무 강화 교육을 통한 전문인력양성 관련 학과 대학생
대학생 현장연수활동 (인터쉽)프로그램 기술원자체교육 나노반도체 및 나노소자 전반에 대한 실무경험 기회를 제공하여 산업체 현장에 적합한 전문인력 양성 관련 학과 대학생

나노 1인 창조기업 비즈니스센터

사업목적
도내 나노분야 1인창조기업에서 첨단 고가 연구장비 및 시설, 전문인력, 맞춤형 교육, 경여지원, 사무공간 및 비품 등을 제공하여 종합지원체제(Total Support System)로 교육
모집분야
나노기술 관련 산업 분야
지원내용
  • 창업지원금 기업별 평균 1,500만원(차등지급)
  • 나노팹 장비사용료 / 시제품제작비 / 마케팅지원비 / 컨설팅서비스 등
  • 나노분야 전문 교육프로그램 운영
  • 사무공간, 휴게공간, 나노팹 설비, 경영지원 등 전반적 창업 지원
종합 지원체계 한국나노기술원 1인창조기업 비즈니스센터
  • 기술개발과 준생산 지원
  • 기술자문과 행정지원
  • 네트워크 연계
  • 전 주기적 창업지원

창업맞춤형사업화지원사업

사업목적
사업화 가능성이 높은 창업자를 주관기관과 연계하여 발굴 육성하여 빠른 수익 창출 실현
지원대상
3년 미만 창업기업(또는 창업자) 연간 20개 기업
지원기간
3년
특화분야
나노, 전기전자, 정보통신
지원 내용
자금
최대 3천만원 (연간)
  • BM (비즈니스 모델) 개발
  • 아이템 검증 개발
  • 시장진입
서비스
최대 2천만원 (연간)
  • 전문가 멘토링
  • 엑셀러레이팅

청소년들의 미래진로체험을 위한 한국나노기술원 nanoSTEM 나노융합과학교육

한국나노기술원 nanoSTEM 교육기부 프로그램
  • 초 · 중 · 고등학교 학생들을 대상으로 한 미래진로체험 교육
  • 학교방문형 및 한국나노기술원 방문형으로 구성된 다양한 체험형 STEAM 교육 프로그램 운영

    학교방문형 나노과학동아리 / 방과후나노학교 / 나노특강

    기관방문형 토요나노교실 / 나노체험(1박 2일) / 나노캠프(2박 3일)

nanoSTEAM 대학생 연합봉사단
  • nanoSTEM 교육 강사로 활동하는 대학생 교육봉사단 (’15. 9 기준 30개 대학 180여명 활동)
  • 한국나노기술원에서 운영하는 15주간의 나노융합과학교육 강사훈련과정 수료 후 교육봉사 실시
nanoSTEM 개요
나노과학 (nano Science), 나노 기술 (nanoTechnology), 나노 공학 (nano Engineering), 예술 (Arts), 수학 (Mathematics)를 융합한 쉽고 재미있는 참여형 체험교육
KANC 한국나노기술원
nanoSTEM 교육기부 프로그램
  • 나노STEAM 교육프로그램 및 교재 개발
  • 나노STEAM 강사훈련 및 육성
  • 청소년대상 STEAM 교육 실시
  • 나노STEM 대학생 교육봉사단 운영
  • 교육협력학교 네트워크
학교방문형 프로그램 (정규수업과정에 편성)
나노과학동아리 협력학교별 년 10회 이상
방과후 나노학교 협력학교별 년 10회 이상
나노특강 3시간이내 특별수업
기관방문형 프로그램
토요나노교실 (1일) 09:00~16:30
나노체험 (2일/1박) 금~토 월 1회 이상
나노캠프 (3일/2박) 여름 · 겨울방학 각4회(총 8회)
대한불교조계종 봉녕사 템플스테이 프로그램 및 숙식 제공(1박, 2박)
경기도교육청
경기도내 초 · 중 · 고교
  • 행정지원
  • 예산지원
  • 융합인재(STEAM)교육
  • 진로체험, 자유학기
nanoSTEAM 나노융합과학교육 협력학교 네트워크 (’15. 9 기준, 37개교)
  • 부천
    • 운산고등학교
  • 과천
    • 부홍고등학교
  • 시흥
    • 시흥매화고등학교
  • 안산
    • 용호고등학교
    • 상록고등학교
    • 안산시청소년수련관
  • 수원
    • 광교초등학교
    • 남수원중학교
    • 곡선중학교
    • 청명중학교
    • 영신중학교
    • 다산중학교
    • 수원제일중학교
    • 수일여자중학교
    • 연무중학교
    • 원천중학교
    • 창용중학교
    • 권선고등학교
    • 광교고등학교
    • 효원고등학교
    • 동우여자고등학교
    • 동원고등학교
    • 조원고등학교
    • 창헌고등학교
    • 수원청소년희망등대센터
  • 성남
    • 보평고등학교
    • 성일정보고등학교
    • 이매고등학교
    • 풍생고등학교
  • 용인
    • 신봉고등학교
  • 이천
    • 장호원고등학교
    • 효양고등학교
  • 양평
    • 양일고등학교
  • 남양주
    • 예봉중학교
    • 진건고등학교
    • 평내고등학교
  • 구리
    • 구리고등학교
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